真空电阻炉石墨热场-西格里R6510材料
真空电阻炉的石墨热场是炉子的核心部分,直接影响炉子的性能和运营成本。它具有以下特点:
- 石墨热场是整套石墨加热系统,主要用于熔化硅料和拉单晶硅。
- 石墨热场的设计多样化,具体选择哪一种设计方案主要基于对工艺流程的具体分析。
- 石墨热场包括加热器及其连接部件、隔热部件(或者反射屏)、热场支撑部件、工件承载陆床等四个主要组成部分。
- 从形状上来看,石墨热场可以有方形和圆形之分,圆形石墨热场在真空炉领域中占有较高的比例。
- 为了方便从炉膛中安装和移除,所有的石墨热场都被建造成为模块的形式。
- 石墨热场的制造需要选择合适的加热器和其他部件,以实现对温度的精确控制和高效加热。
- 石墨热场中的石墨材料具有良好的导热性能,可以快速将热量传递给工件,从而实现高效加热。
- 石墨热场中的隔热部件可以减少热量向炉膛外部的传递,提高热效率。
- 石墨热场中的热场支撑部件可以确保石墨热场的稳定性和耐用性。
- 石墨热场中的工件承载炉床可以确保工件在加热过程中的稳定性和安全性。
- 西格里6510是绝佳的石墨热场材料
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